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纳米压印机和纳米压印技术全套方案

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NANONEX光刻机系列

 
NX-B100/200

Lumina-200 多功能高精度光刻机 [pdf]

NX-1000

Lumina-210 多功能高精度光刻机加背面对准功能

NX-2000

NX-2600 多功能整片基板带对准功能多层次的纳米压印和高分辨率光刻系统 [pdf]

     
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